層流壓差式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種基于流體力學(xué)原理的高精度控制裝置，通過(guò)層流元件將氣體從湍流整流成層流，氣體在層流狀態(tài)下，壓差和流量成線性關(guān)系，通過(guò)測(cè)量壓差來(lái)計(jì)算流量，其顯著特點(diǎn)如下：

層流壓差原理與線性特性

通過(guò)層流元件使氣體形成穩(wěn)定層流，流量與壓差呈線性關(guān)系，確保高精度測(cè)量（通常±1%以內(nèi)）和直接計(jì)算，無(wú)需復(fù)雜算法。

寬量程比（高動(dòng)態(tài)范圍）

量程比可達(dá)100:1以上，支持從極低到高流量的寬范圍控制，適應(yīng)多樣化工況需求。

低壓力損失

層流元件設(shè)計(jì)優(yōu)化流道，減少壓降，降低能耗，尤其適合低壓或?qū)簱p敏感的系統(tǒng)。

快速響應(yīng)與實(shí)時(shí)控制

結(jié)合高速傳感器和調(diào)節(jié)閥，響應(yīng)時(shí)間短（毫秒級(jí)），實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)閉環(huán)控制，提升系統(tǒng)動(dòng)態(tài)性能。

溫度補(bǔ)償與穩(wěn)定性

內(nèi)置溫度傳感器和補(bǔ)償算法，抵消氣體粘度隨溫度變化的影響，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性，適合環(huán)境波動(dòng)場(chǎng)景。

多氣體兼容性

通過(guò)校準(zhǔn)適配不同氣體，支持單一設(shè)備用于多種氣體。

緊湊結(jié)構(gòu)與集成化設(shè)計(jì)

采用微型化層流元件和模塊化結(jié)構(gòu)，體積小巧，易于集成到復(fù)雜系統(tǒng)（如半導(dǎo)體設(shè)備或?qū)嶒?yàn)室裝置）。

數(shù)字通信與智能化接口

配備RS485、Modbus、EtherCAT等接口，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控和自動(dòng)化集成，滿足工業(yè)4.0需求。

高可靠性與低維護(hù)

無(wú)活動(dòng)部件設(shè)計(jì)減少磨損，抗振動(dòng)干擾，壽命長(zhǎng)，維護(hù)成本低，適合連續(xù)工業(yè)環(huán)境。

環(huán)境適應(yīng)性

適用于潔凈或腐蝕性氣體，接氣部材質(zhì)為316L不銹鋼及耐腐蝕密封圈，以應(yīng)對(duì)嚴(yán)苛條件。

對(duì)比其他類型MFC：相較于熱式（依賴導(dǎo)熱性，量程窄）或科里奧利式（高精度但成本高），層流壓差式在精度、成本與量程間取得平衡，成為工業(yè)及實(shí)驗(yàn)室的主流選擇。其核心優(yōu)勢(shì)在于線性響應(yīng)與寬動(dòng)態(tài)范圍，適合需精確控制且流量變化大的場(chǎng)景。